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产品特点纳米氮化硅(Si3N4)通过气溶胶烧蚀法制备,纯度高,粒径小,分布均匀,比表面积大,表面活性高,松

摘要:对用稻壳合成氨化硅超微粉过程中的氮化反应动力学特性进行了研究。结果表明:在以氨气为氮化气源的体系中,合成氨化硅粉的氮化反应活化能为103kJ/mol

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(CVD)过程,讨论了制备氮化硅超微粉体的3关键工艺要素,并采用立式双温区流态床实验装置实现氮化硅超微粉体的制备,获得粉体合成过程的一些关键控制中。

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