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2015年2月1日-硅微MEMS加工工艺晓浩EMAIL:电话:6773硅微MEMS发展里程碑•1987年UCBerkeley在硅片上制造出静电电机•90年代初ADI公。

硅灰石的加工通常指的是将硅灰石磨成硅灰石粉,此加工工艺需要用到的设备包括颚式破碎机、雷蒙磨粉机、电磁。

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化学工业上用于制备硅化合物和硅酸盐,也可作硫酸塔。加工工艺流程常用的选矿方法有洗矿、分级、擦洗、。

第5章MEMS工艺(表面硅加工技术)百度文库专业资料工程科技加书签收藏下载跳底部阅读:1419次大小:1.2MB(共64页)第1/64页下页。

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